雙作用氣缸，行程20~50mm，速度≤25mm/s；
連續動作60s內大于0.1μm顆粒物數量小于30，
使用工況：常溫或150℃高溫。
適用介質 NMP/DMSO/EKC/TMAH/醇胺類藥水高壓泵具有良好的耐腐性；
增壓后介質壓力：0-25 MPA；使用溫度85℃；
壓力波動性±0.5MPA；最大流量2L/min；pa add≤30ea@0.2μm。
可檢測瞬時流量和累計流量檢測；
流量范圍0-3000mL/min；口徑1/4”、3/8”；
支持流體所有液體（水、油、粘合劑、藥液等）；
溫度0℃（配管表面無結冰）-100℃；
樹脂配管精度 ± 0.1%；金屬配管精度 ± 0.3%
使用溫度5-90℃，耐壓1MPa，工作壓力0-0.5MPa，
主體材質PTFE/PFA，環境溫度10-60℃，
量范圍10-1500ml/min；流量控制精度±1%
供電220 V， 網口或串口，
通訊協議ModbusTCP/IP或ModbusRTU，
參考尺寸125*420*290mm;
光強穩定性波動＜±0.5%/h，
光強衰減率4000H以上＜30%
硬件接口Ethercat(大于32軸，同步周期<2ms)，
基于PC的硬件架構(X86)，RS485/RS232（波特率115200），
CAN（Canopen接口 波特率1Mbps），
擴展模塊支持數字量、模擬量、步進電機控制模塊；
支持Modbus RTU / TCP；支持UDP功能；
支持文件讀寫功能。
需求公制和英制。
本體材質PFA，管材本體具有導電條結構，
可以傳導因溶劑流動而產生的靜電，
以及防止火花產生，避免火災及其它問題。
參考電阻導電PFA段：5.3×102 Ω-cm，
絕緣PFA段：＞1018 Ω-cm，用于接地的導電帶。
介質：純水 / 藥液/ 空氣 / 氮氣，
使用溫度；5-60℃，耐壓力0-0.3 Mpa；
本體材質；PFA 或 PTFE；
支持手動流量調節功能。
